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Nanoscribe是一家德國雙光子增材制造系統(tǒng)制造商,它推出了一種新型機(jī)器Quantum X.最新系統(tǒng)使用雙光子光刻技術(shù)制造納米尺寸的折射和衍射微光學(xué)元件,其尺寸可小至200微米。
根據(jù)Nanoscribe的聯(lián)合創(chuàng)始人兼CSO Michael Thiel博士的說法,“Beer's定律對(duì)當(dāng)今的無掩模光刻設(shè)備施加了強(qiáng)大的限制。 Quantum X采用雙光子灰度光刻技術(shù),克服了這些限制,提供了前所未有的設(shè)計(jì)自由度和易用性。我們的客戶正在微加工的最前沿工作?!?/p>
雙光子Quantum X機(jī)器。圖片:Nanoscribe。
納米3D打印
Nanoscribe成立于卡爾斯魯厄理工學(xué)院,現(xiàn)在在上海設(shè)有子公司,在美國設(shè)有辦事處。該公司在德國歷史最悠久,規(guī)模最大的光學(xué)系統(tǒng)制造商之一蔡司財(cái)務(wù)的支持。納米標(biāo)記系統(tǒng)基于雙光子吸收,這是一種分子被激發(fā)到更高能態(tài)的過程。為了使用雙光子工藝制造3D物體,使用含有單體和雙光子活性光引發(fā)劑的凝膠作為原料。將激光照射到光敏材料上以形成納米尺寸的3D打印物體,其中吸收的光的強(qiáng)度最高。
Nanoscribe的Photonic Professional GT在研究中得到了廣泛的應(yīng)用,并在哈佛大學(xué)納米系統(tǒng)中心,加州理工學(xué)院,倫敦帝國理工學(xué)院,蘇黎世聯(lián)邦理工大學(xué)和慶應(yīng)義塾大學(xué)使用。最近,據(jù)報(bào)道,Nanoscribe還加入了MiLiQuant項(xiàng)目,并將利用其在光子技術(shù)方面的專業(yè)知識(shí)將量子技術(shù)推向工業(yè)水平。除雙光子機(jī)器外,Nanoscribe還生產(chǎn)負(fù)性樹脂,稱為IP光樹脂。
Nanoscribe提供的一系列納米級(jí)樣品。圖像通過Nanoscribe。
3D打印衍射光學(xué)
Quantum X系統(tǒng)是在慕尼黑2019年的LASER光子世界(A3.325展位)上推出的,專門用于制造衍射光學(xué)元件(DOE)。這些微型光學(xué)器件用于材料的激光加工領(lǐng)域,因?yàn)镈OE可以精確地控制激光的路徑和“形狀”。微光學(xué)還用于激光雷達(dá)掃描和基于激光的醫(yī)學(xué)治療。制造DOE的最常見方法之一是基于集成電路的制造過程,其可能需要多達(dá)十二個(gè)步驟。但是,使用Quantum X機(jī)器,DOE可以直接從CAD直接打印。Quantum X將是微光學(xué),小批量生產(chǎn)和研發(fā)的快速原型設(shè)計(jì)的理想解決方案。
在Quantum X機(jī)器上打印的微透鏡陣列3D的SME圖像。圖像通過Nanoscribe。
技術(shù)規(guī)格
印刷技術(shù)雙光子灰度光刻(2GL)
最小XY尺寸160 - 200 nm(取決于使用的光致抗蝕劑)
XY分辨率400-500 nm(取決于所用的光敏素)
最佳垂直步長(zhǎng)10 nm
掃描速度≤250mm / s
面積印刷速度為3mm2/ h,適用于衍射光學(xué)元件
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